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共焦点レーザ顕微鏡

キーエンス社製　VK-X150

・狙った場所を非破壊で形状測定
・高解像度[16bitレーザ]観察
・カラーでの測定結果表示

3D測定マイクロスコープ

キーエンス社製　VR-3050

・ワンショットで3D測定
・XYZフル電動化により最大200×100[mm]の範囲を簡単に3D化
・プロファイル測定や、粗さや平行度の測定だけでなく、平均段差・体積・表面積の測定やうねり・ひずみの測定も広範囲の面形状に対して測定可能

デジタルマイクロスコープ

キーエンス社製　VHX-8000